| Поле | Название | Значение |
| |
Тип записи |
a |
| |
Библиографический уровень |
b |
| 001 |
Контрольный номер |
izph15_to58_no4_ss3_ad1 |
| 005 |
Дата корректировки |
20221031154203.9 |
| 008 |
Кодируемые данные |
151116s2015||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| 035 |
Системный контрольный номер |
__ |
| a |
Системный контрольный номер |
RUMARS-izph15_to58_no4_ss3_ad1 |
| 2 |
|
AR-MARS |
| 040 |
Источник каталогиз. |
__ |
| a |
Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева |
| b |
Код языка каталог. |
rus |
| 041 |
Код языка издания |
0_ |
| a |
Код языка текста |
rus |
| h |
Код языка оригинала |
rus |
| 080 |
Индекс УДК |
__ |
| a |
Индекс УДК |
539.2 |
| 080 |
Индекс УДК |
__ |
| a |
Индекс УДК |
537.533/.534 |
| 080 |
Индекс УДК |
__ |
| a |
Индекс УДК |
621.03 |
| 084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
| a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
22.37 |
| v |
|
Таблицы для массовых библиотек |
| 084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
| a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
22.338 |
| v |
|
Таблицы для массовых библиотек |
| 084 |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
__ |
| a |
Индекс другой классификации/Индекс ББК |
30.13 |
| v |
|
Таблицы для массовых библиотек |
| 100 |
Автор |
1_ |
| a |
Автор |
Блейхер, Г. А. |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 245 |
Заглавие |
10 |
| a |
Заглавие |
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы |
| h |
Физич. носитель |
Текст |
| c |
Ответственность |
Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева |
| 300 |
Физическое описание |
__ |
| b |
Иллюстрации/ тип воспроизводства |
рис. |
| 504 |
Библиография |
__ |
| a |
Библиография |
Библиогр.: c. 8 (9 назв. ) |
| 520 |
Аннотация |
__ |
| a |
Аннотация |
Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности ее распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путем сравнения расчетных результатов с экспериментальными измерениями. |
| 650 |
Тематические рубрики |
_4 |
| a |
Основная рубрика |
Физика |
| 2 |
Источник рубрики |
AR-MARS |
| 650 |
Тематические рубрики |
_4 |
| a |
Основная рубрика |
Физика твердого тела. Кристаллография в целом |
| 2 |
Источник рубрики |
AR-MARS |
| 650 |
Тематические рубрики |
_4 |
| a |
Основная рубрика |
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях |
| 2 |
Источник рубрики |
AR-MARS |
| 650 |
Тематические рубрики |
_4 |
| a |
Основная рубрика |
Техническая физика |
| 2 |
Источник рубрики |
AR-MARS |
| 650 |
Тематические рубрики |
_4 |
| a |
Основная рубрика |
Техника |
| 2 |
Источник рубрики |
AR-MARS |
| 653 |
Ключевые слова |
0_ |
| a |
Ключевые слова |
магнетронная распылительная система |
| 653 |
Ключевые слова |
0_ |
| a |
Ключевые слова |
теплоизолированные мишени |
| 653 |
Ключевые слова |
0_ |
| a |
Ключевые слова |
эмиссионные потоки атомов |
| 653 |
Ключевые слова |
0_ |
| a |
Ключевые слова |
эмиссия атомов |
| 700 |
Другие авторы |
1_ |
| a |
Другие авторы |
Кривобоков, В. П. |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 700 |
Другие авторы |
1_ |
| a |
Другие авторы |
Юрьева, А. В. |
| 4 |
Код отношения |
070 |
| 773 |
Источник информации |
__ |
| x |
ISSN |
0021-3411 |
| t |
Название источника |
Известия вузов. Физика |
| d |
Место и дата издания |
2015 |
| g |
Прочая информация |
Т. 58, № 4. - С. 3-8 |
| t |
Название источника |
Известия высших учебных заведений. Физика |
| w |
Контрольный № источника |
RU/IS/BASE/489247352 |
| 801 |
Источник записи |
_0 |
| a |
Код страны участника АРБИКОН |
RU |
| b |
Код библиотеки-участника АРБИКОН |
43013090 |
| c |
Дата составления записи |
20151116 |
| g |
|
RCR |
| 801 |
Источник записи |
_1 |
| a |
Код страны участника АРБИКОН |
RU |
| b |
Код библиотеки-участника АРБИКОН |
43013090 |
| c |
Дата составления записи |
20151116 |
| 801 |
Источник записи |
_2 |
| a |
Код страны участника АРБИКОН |
RU |
| b |
Код библиотеки-участника АРБИКОН |
AR-MARS |
| c |
Дата составления записи |
20151116 |
| g |
|
RCR |
| 801 |
Источник записи |
_3 |
| a |
Код страны участника АРБИКОН |
RU |
| b |
Код библиотеки-участника АРБИКОН |
AR-MARS |
| c |
Дата составления записи |
20151116 |
| 901 |
Тип документа |
__ |
| t |
Тип документа |
b |
| 903 |
Служебное поле (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Код характеристики |
code |
| b |
Значение характеристики |
izph |
| d |
|
36 |
| 903 |
Служебное поле (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Код характеристики |
year |
| b |
Значение характеристики |
2015 |
| 903 |
Служебное поле (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Код характеристики |
to |
| b |
Значение характеристики |
58 |
| 903 |
Служебное поле (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Код характеристики |
no |
| b |
Значение характеристики |
4 |
| 903 |
Служебное поле (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Код характеристики |
ss |
| b |
Значение характеристики |
3 |
| 903 |
Служебное поле (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Код характеристики |
ad |
| b |
Значение характеристики |
1 |
| 911 |
Журнальная рубрика (Проект МАРС) |
__ |
| a |
Сведения о журнальных рубриках |
Физика плазмы |