| Найдено документов - 1 | Источник: Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN / А. С. Гренадёров, А. Н. Захаров, В. О. Оскирко [и др.]. - Текст : электронный // Известия вуз... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Известия вузов. Физика : научный журнал. № 11 / учредители: Министерство образования и науки Российской Федерации. - Томск, 2022. - 12 выпусков в год. - ISSN 0021-3411. - Текст : электронный.
Рубрики: Физика - Периодические издания электронные
Экземпляры: Всего: 1, из них:
Доступ по URL () - свободно 1 из 1
Доступ по URL () - свободно 1 из 1